集成电路的密度越来越大
8090年代，随着集成电路的密度越来越大，一方面其二氧 化硅膜的厚度越来越薄(微米－纳米）其承 电子工业中静电问题的发生 接受的静电电压越来越低，另一方面，发生和积累静电的资料如塑料，橡胶等大量 使用，使得静电越来越普遍存在仅美国电 子工业每年因静电造
成的损失达几百亿美圆，因此静电防护已成为电子工业的隐形杀手。电子工业普遍存在硬病毒”某个 时刻内外因条件具备时就要发作。静电对电子产品损害的四种形式 ????吸尘（缩短寿命）放电破坏（完全破坏）放电发生热（潜在损伤）放电发生电磁场（电磁干扰）静电的基本物理特
性为：吸引或排斥，与大 地有电位差，会产生放电电流。这三种特性能对 电子元件的三种影响：1．静电吸附灰尘，降低元件绝缘电阻（缩短 寿命）2．静电放电破坏，使元件受损不能工作(完 全破坏)3．静电放电电场或电流产生的热，使元件受 伤（潜在损伤）4．静电放电产生的电磁
场幅度很大（达几百 伏/米）频谱极宽（从几十兆到几千兆）对电子 产器造成干扰甚至损坏（电磁干扰)静电对电子产品损害 ?如果元件全部破坏，必能在生产及 品管中被察觉而排除，影响较小，如果 元件轻微受损，正常测试下不易发现，这种情形下，常会因经过多层之加工，甚至已
在使用时，才发现破坏，不但检 查不易，而且其损失亦难以预测。要耗 费多少人力及财力才干清查出所有问题，而且如果在使用时才察觉故障，其损失 将可能巨大。静电对电子产品损害 四个特点 ?隐蔽性：人体感知的静电放电电压2-3KV?潜在性：操作后性能没有明显的下降 ?随机性
：从一个元件产生以后，一直到损坏 以前的所有过程 ?复杂性：分析困难，掩盖了失效和真正原因 静电防治技术 ?1容易发生静电的生产工艺：?①固体物质相互大面积摩擦时；?②高电阻液体在管道中流动且流速超过1m/时、液 体喷出管口时，注入容器发生冲击、冲刷或飞溅时 等；?③
液化气体、压缩气体在管道中流动、喷出管口时；?④固体物质粉碎、研磨过程，悬浮粉尘高速运动时；?⑤在混合器中搅拌各种高电阻物质时。
集成电路的密度越来越大
